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兴奋，哪怕厂里光刻生产早已习惯，但像这种光刻的流片还是第一次。 且按照陈工前几天交代的，这次要是流片能成，之后微电子所的芯片方案流片都会陆续交由他们工厂负责。 “开始吧。” 沈永健透过防尘面罩，注视向钱田宝。 流片日后预备交给工厂，这次则由他亲自带钱田宝二人进行工作。 钱田宝点了点头，在主控台上输入了确认指令。 “晶圆传送开始。” 整台光刻机正式启动，随着机械结构的响动，一片涂覆着光刻胶的测试硅片被平稳地送入光刻机的真空腔室。 车间内特殊的黄光亮起，以防止光刻胶提前曝光，屋内空气机组的过滤单元传来极其微弱的白噪音。 “对准系统启动，激光干涉仪锁定。” 曹俊紧盯着屏幕上的数据。 屏幕上，十字对准标记在多次校准后最终完美重合。 ...

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